集積電子システムコース

研究室WEB

• 集積化バイオセンサの研究
• マルチモーダルスマートセンサの研究と農業応用
• MEMS技術によるバイオセンサシステム

半導体デバイス/シリコンフォトニクス

研究室WEB

• シリコンCMOS技術による微小光デバイスの研究
• シリコン・ゲルマニウムのエピタキシャル成長と受発光デバイスの研究
• シリコン光集積回路の研究

研究室WEB

• ニューラルインターフェースデバイス（神経－エレクトロニクスの接続）
• 集積化マイクロ／ナノデバイス
• ナノチューブ／ナノワイヤーデバイス

研究室WEB

• 窒化物半導体を用いた次世代光機能デバイスの研究
• ナノ・量子構造による新物性の発現とデバイス応用

研究室WEB

• CMOS／MEMSデバイスの集積化
• MEMSアクチュエーターを用いた光学素子
• MEMSバイオセンサの研究

研究室WEB

• モノリシック光・電子融合技術の研究開発
• Si基盤上III-V窒化物半導体混晶の結晶成長とデバイス応用

集積回路/半導体デバイス

研究室WEB

• フィルタフリー蛍光イメージセンサ